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对净化室悬浮粒子的测量

2021-05-27 点击数:521

激光尘埃粒子计数器对净化室悬浮粒子的测量

为确定净化室A级洁净区的级别,激光尘埃粒子计数器开展检测的每一个采样点采样量不可低于1立方米。A级洁净区气体悬浮粒子的级别为ISO4.8,以≥5.0μm的悬浮粒子为程度规范。B级洁净区(静态数据)的气体悬浮粒子的级别为ISO5,另外包含表格中二种粒度的悬浮粒子。针对C级洁净区(静态数据和动态性)来讲,气体悬浮粒子的级别各自为ISO7ISO8。针对D级洁净区(静态数据)气体悬浮粒子的级别为ISO8。测试标准可参考ISO标准。

在确定级别时,理应应用采样管较短的激光尘埃粒子计数器,防止5.0μm悬浮粒子在远程控制采样系统软件的长采样管内地基沉降。在单边流系统软件中,理应选用等动力学模型的抽样头。


动态性检测可在基本实际操作、培养液仿真模拟罐装全过程中开展,证实做到动态性的洁净度等级级别,但培养液仿真模拟罐装实验规定在“差情况”下开展动态性检测。

激光尘埃粒子计数器开展悬浮粒子浓度的采样数据信息应按住流程作统计分析测算:

1.采样点的均值粒子浓度

C1+C2++CN

A=N

式中:A-某一采样点的均值粒子浓度,粒/m3

CI-某一采样点的粒子浓度(i=12,…,N),粒/m3

N-某一采样点上的采样频次,次。

2.均值的平均值

A1+A2++AL

M=L

式中:M-均值的平均值,即净化室(区)的均值粒子浓度,粒/m3

Ai-某一采样点的均值粒子浓度(i=12,…,L),粒/m3

L-某一净化室(区)内的总采样等级,个。

3.相信限制

UCL=M+t×SE

式中:UCL-均值平均值的95%相信限制,粒/m3

t-95%相信限制的t分布指数。当采样等级超过9点时,不用测算UCL

分辨悬浮粒子洁净度等级级别应根据以下标准:

1.每一个采样点的均值粒子浓度务必小于或相当于要求的级别界线,即Ai≤级别界线。

2.所有采样点的粒子浓度均值的95%相信限制务必小于或相当于要求的级别界线,即UCL≤级别界线。

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