9.1 配电 
9.1.1 洁净厂房低压配电电压应采用220/380V。带电导体系统的型式宜采用单相二线制、三相三线制、三相四线制。系统接地的型式宜采用TN-S 或TN-C-S 系统。 
9.1.2 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求应根据现行国家标准《供配电系统设计规范》(GB 50052)和生产工艺要求确定。主要生产工艺设备由专用变压器或专用低压馈电线路供电，有特殊要求的工作电源宜设置不间断电源(UPS)。净化空调系统用电负荷、照明负荷应由变电所专线供电。 
9.1.3 洁净厂房的消防用电设备的供配电设计应按现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)规定执行。 
9.1.4 电源进线(不包括消防用电)应设置切断装置，并宜设在洁净区外便于管理的地点。 
9.1.5 洁净室内的配电设备，应选择不易积尘、便于擦拭的小型暗装设备，不宜设置大型落地安装的配电设备。 
9.1.6 洁净室内的电气管线宜暗敷，穿线导管应采用不燃材料。洁净区的电气管线管口及安装于墙上的各种电器设备与墙体接缝处应有可靠的密封措施。 
9.2 照明 
9.2.1 洁净室内照明光源，宜采用高效荧光灯。若工艺有特殊要求或照度值达不到设计要求时，也可采用其它形式光源。 
9.2.2 洁净室内一般照明灯具为吸顶明装。如灯具嵌入顶棚暗装时，其安装缝隙应有可靠的密封措施。洁净室内不应采用格栅型灯具。 
9.2.3 无采光窗洁净区工作面上的照度值，不应低于表9.2.3 规定的数值。 
                           表9.2.3 无采光窗洁净区工作面上的最低照度度值 

    注：①一般照明是指单独使用的一般照明。 
        ②混合照明的最低照度是指实际工作面上的最低照度。 
        ③Ⅰ～Ⅳ一般照明的最低照度值是指墙面1m(小面积房间为0.5m) ，距地面为0.75m 假定工作面上最低照度。 
        ④通道、休息室一般照明的最低照度值是指地面处的最低照度值。 
        ⑤若暗房工作室为红或黄灯照明时，一般照明的最低照度值是指距地面0.75m 假定工作面上的最低照度值。 
9.2.4 无采光窗洁净区混合照明中的一般照明，其照度值应按各视觉等级相应混合照度值的10%～15%确定，并不低于200lx。 
9.2.5 洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7。 
9.2.6 洁净厂房备用照明的设置应符合下列要求:  
    1 洁净厂房内应设置备用照明。 
    2 备用照明宜作为正常照明的一部分。 
    3 备用照明应满足所需场所或部位进行必要活动和操作的最低照度。 
9.2.7 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准设置疏散标志。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。 
9.3 通信 
9.3.1 洁净厂房内应设置与厂房内外联系的通信装置。洁净厂房内生产区与其它工段的联系，宜设生产对讲电话。 
9.3.2 洁净厂房根据生产管理和生产工艺特殊需要，宜设置闭路电视监视系统。 
9.3.3 洁净厂房的生产区(包括技术夹层)、机房、站房等均应设置火灾探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。 
9.3.4 洁净厂房应设置消防值班室或控制室，其位置不应设在洁净区内。消防控制室应设置消防专用电话总机。 
9.3.5 洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可靠。控制设备的控制及显示功能，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)及《火灾自动报警系统设计规范》(GB 50116) 的规定。洁净区内火灾报警应进行核实，并应进行如下消防联动控制:  
    1 启动室内消防水泵，接收其反馈信号。除自动控制外，还应在消防控制室设置手动直接控制装置。 
    2 关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风机、排风机及新风机，并接收其反馈信号。 
    3 关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门。 
    4 控制备用应急照明灯和疏散标志灯燃亮。 
    5 在消防控制室或低压配电室，应手动切断有关部位的非消防电源。 
    6 启动火灾应急扩音机，进行人工或自动播音。 
    7 控制电梯降至首层，并接收其反馈信号。 
9.3.6 洁净厂房中易燃、易爆气体的贮存、使用场所，管道入口室及管道阀门等易泄漏的地方，应设可燃气体探测器。有毒气体的贮存、使用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动或手动启动相应的事故排风机。并应将报警信号送至消防控制室。 
9.4 自动控制 
9.4.1 洁净厂房应设置净化空调系统等的自动监控装置。 
9.4.2 洁净室净化空调系统风机宜选用变频调速控制。 
9.4.3 净化空调系统电加热器，应设置无风、超温断电保护。若采用电加湿器时应设置无水保护。寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。 
9.5 静电防护及接地 
9.5.1 洁净厂房应根据工艺生产要求设静电防护措施。 
9.5.2 洁净室内的防静电地面，其性能应符合下列要求:  
    1 地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定。 
    2 地面的表层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105 ～1.0×1012Ω/